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      產品名稱:

      TOC超純水 超純水設備

      發布時間: 2025/2/18 有效時間: 2025/8/18

      詳細介紹

      TOC超純水

      微電子行業制備超純水流程中,因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質,而得到廣泛應用。

      有機物是超純水系統中最難控制的污染,隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰,對超純水中TOC值的要求越來越高,因此,如何配置紫外線,如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量,進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運營困擾。

      185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

      超純水可以在以下領域使用:
      (1)電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
      (2)化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
      (3)單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
      (4)高壓變電器的清洗等


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      TOC超純水

      產品規格:

      處理水量

      2~60m3/h

      燈管配置

      12~48支

      燈管類型

      85w/155w(185/254nm雙波段)

      石英套管

      T>80%@185nm

      鎮流器

      50~100%輸出功率可調

      反應器材質

      316L

      潔凈等級

      內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

      法蘭尺寸

      DN50~DN200

      額定壓力

      PN10

      控制柜等級

      IP55,碳鋼噴塑

      控制系統

      本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

      UV強度傳感器

      分辨率0.01mw/cm2







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