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      產品名稱:
      半導體超純水說明
      產品品牌: Onyx/安力斯 訪問量: 2449
      廠商性質: 生產廠家 更新時間: 2025-05-28

      半導體超純水說明主要用于生產超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

      產品概述

      半導體超純水說明

      n 產品介紹:

      EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于純水(UPW)制備中對總有機碳(TOC)進行降解的先進可靠系統。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制,實現高效、安全可控的總有機碳(TOC)降解。該設備在超純水制備工藝中,可使純水TOC降至1ppb以下。

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      n 主要優勢:

      2 安全可控

      真空級平行光束儀進行理論安全劑量指導設計,足夠紫外線劑量實時輸出可調,系統智能自控。

      2 更高去除效率

      更高純石英玻璃,系統185nm紫外線強度輸出較傳統產品提高50%以上。

      2 CFD流體模擬

      進行細節模擬設計,提高處理效率

      2 性能穩定、操作簡便

      本地與遠程控制,配備PLC、觸摸屏,紫外強度實時顯示及預警

      2 先進的加工工藝

      采用先進設備、工藝加工,反應器內外電解拋光,Ra<0.2

      2 多形式選擇

      滿足現場多樣化安裝形式,產品可選擇成套撬裝,占地面積小

      半導體超純水產品規格:

      處理水量

      2~60m3/h

      燈管配置

      12~48支

      燈管類型

      85w/155w(185/254nm雙波段)

      石英套管

      T>80%@185nm

      鎮流器

      50~100%輸出功率可調

      反應器材質

      316L

      潔凈等級

      內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

      法蘭尺寸

      DN50~DN200

      額定壓力

      PN10

      控制柜等級

      IP55,碳鋼噴塑

      控制系統

      本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

      UV強度傳感器

      分辨率0.01mw/cm2








      半導體超純水說明應用領域:

      1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

      2. 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

      3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

      4. 黑白顯像管熒光屏的生產、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

      5. 液晶顯示器的生產、屏面清洗

      6. 集成電路生產中高純水清洗硅片

      7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產









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