TOC超純水 電子級水 超純水設備

電子級水概念明晰：

在電子行業、半導體行業中，用水標準是極為嚴格的。在這些行業中，無論是材料、電子元件、電路板，還是設備等的清洗工作，對水質的要求都需要達到高純水的級別。電子級水通常指需電子行業用水，其水中要去除細菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導電雜質。

其電阻率≥18MΩ/cm（25℃，EW-I）。

     《中華人民共和國國家標準:電子級水(GB/T 11446.1-2013)》將原電子級水級別由5級改為4級，技術內容增加了金屬鎳、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指標；增加了有關水的詞匯，本標準由中華人民共和國電子工業部提出。本標準由電子工業部標準化研究所歸口。

電子級水檢測指標：

1、電阻率的測定

2、全硅的測定

3、微粒數的測定:0.05μm-0.1μm、0.1μm-0.2μm、0.2μm-0.3μm、0.3μm-0.5μm、＞0.5μm

4、水中痕量金屬檢測項目：銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛、氟、氯

5、細菌個數的測定

6、痕量陰離子檢測項目：亞硝酸根離子、硝酸根離子、硫酸根離子、磷酸根離子

7、總有機碳得測定

8、溴含量測定

電子級水檢測、高純水檢測、電子工業清洗用水檢測，這些適用于GB/T 11446系列標準。當然除了電子工業，半導體工業，在微電子工業、發電工業、制藥行業以及實驗室等眾多領域的清洗用水，也可以參考GB/T 11446檢測。理論上高純水的電阻率要求達到18.3MΩ.cm.很多時候抽檢檢測只需要檢測電阻率、鈉離子、全硅這三個指標即可。

超純水之于微電子的重要性

在微電子行業生產制備中，超純水主要用于清洗硅片，少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設備的冷卻水、制備電鍍液等。微電子行業生產中80%的工序都需要用高純水來清洗硅片，水質的好壞與微電子產品的質量和生產量有很大關系。

? 水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜產生耐壓；

? 重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結電壓降低；

? III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性變差，V族元素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性變差；

? 水中的細菌經過高溫碳化后的磷（約占灰分的20-50%）會使P型硅片的局部區域變成N型硅片而導致器件性能變壞；

水中的微粒（包括細菌）如吸附在硅片表面，就會造成電路短路或特性變差